机械真空泵分类—液环真空泵、干式真空泵、罗茨真空泵的可靠运行

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下面介绍机械真空泵的分类：
利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，均称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理和结构特点可分为下列几种：
1、变容真空泵：
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气的目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式二种类型。
（1）往复式真空泵：
利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。该产品又称为活塞式真空泵。
此类产品的极限真空一般为1330pa左右，正常工作压力为1330pa～105pa。主要用于抽除空气或含有少量可凝性气体，真空度要求不高的工艺流程。如真空吸塑成型、真空浓缩、真空浸渍、物料的真空输送等工艺流程。
（2）旋转式真空泵：
此类产品是利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出的。它大致有如下几种分类：
（1）油封式真空泵：它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
此类产品的极限真空一般为0.05pa～0.5pa左右，正常工作压力为0.5pa～103pa甚至更高。主要用于抽除空气或含有少量可凝性气体，真空度要求较高的工艺流程。如真空金属冶炼、食品真空冷冻干燥、真空镀膜、电力电容器行业的真空干燥等工艺。
（2）液环真空泵：将带有多叶片的转子偏心安装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液通常为水、油或其它低饱和液体。
此类产品的极限真空一般为300pa～3000pa左右，正常工作压力为500pa～105pa。主要用于抽除空气或含有大量可凝性气体，且真空度要求不高的工艺流程。如化工和制药行业的真空干燥和真空浓缩、轻纺行业和造纸行业的真空脱水、大型水泵的引水、颗粒物料的真空输送等工艺。

（3）干式真空泵：它是一种泵内无油（液体）密封的变容真空泵。
根据不同的配置，此类产品的极限真空一般为0.005pa～100pa左右，主要用于抽除无油性气体的特殊工艺流程。如半导体、集成电路、微电子行业。
（4）罗茨真空泵：泵内装有两个反向同步旋转的双叶或多叶形的转子。转子间、转子与泵壳内壁间均保持一定的间隙。
由于普通罗茨真空不能单独使用必须配备前级泵，可采用往复式真空泵、油封式真空泵、液环式真空泵等作为前级泵。因此罗茨真空泵可以使用在真空度为0.01pa～5000pa左右的任何真空处理工艺上。
一般对于可单独使用的真空泵，在单独使用时该真空泵就是主泵；对于罗茨真空泵机组而言，可分为主泵和前级泵，所谓主泵就是与系统直接相连的真空泵，通常罗茨真空泵为主泵，它在对系统抽真空时起主要作用。前级泵是指其进气口与主泵直接相连，排气口与大气直接相连的泵为前级泵，前级泵的作用是必须及时将主泵排出的气体抽掉并排入大气。
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