隔膜真空泵

隔膜泵的性能数据
如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵，则必须在上游连接合适的分离器或冷阱，以防止在泵中形成大量的冷凝物。但是极限压力将会增高。
隔膜泵在其极限压力、抽速和其抽吸腐蚀性气体的稳定性上各不相同。这类泵的抽速在3和160l·min-1(0.25·h-1)之间。两级泵可实现极限压力低于4hPa，四级泵可实现极限压力低于0.5hPa。其抽速和可达到的最终压力取决于电源频率。
具有涂层隔膜和耐腐蚀壳体的耐腐蚀性气体泵适用于抽吸腐蚀性气体。
泵的命名方式以l·min-1表示抽速以及以数字表示泵的级数。